ในเซ็นเซอร์เร่งมีเซ็นเซอร์เร่งสามแกน แบบเดียวกันนี้ขึ้นอยู่กับหลักการพื้นฐานของการเร่งเพื่อให้บรรลุการทํางาน การเร่งเป็นเวกเตอร์อวกาศ ด้านหนึ่งเพื่อให้เข้าใจสถานะการเคลื่อนที่ของวัตถุได้อย่างแม่นยํา ต้องวัดน้ําหนักบนแกนพิกัดสามแกน ในทางกลับกันโดยไม่รู้ทิศทางการเคลื่อนที่ของวัตถุล่วงหน้ามีเพียงการใช้เซ็นเซอร์เร่งสามแกนเพื่อตรวจจับสัญญาณเร่ง เนื่องจากเซ็นเซอร์การเร่งความเร็วแบบสามแกนยังขึ้นอยู่กับหลักการของแรงโน้มถ่วงการใช้เซ็นเซอร์การเร่งความเร็วแบบสามแกนสามารถบรรลุมุมเอียงของเพลาบวกหรือลบ 90 องศาหรือแกนคู่ 0-360 องศาโดยการแก้ไขความแม่นยำในภายหลังจะสูงกว่าเซ็นเซอร์การเร่งความเร็วแบบสองแกนมากกว่ามุมการวัด 60 องศา

ปัจจุบัน 3 แกนความไวสูงเซ็นเซอร์การเร่งความเร็วส่วนใหญ่ใช้หลักการทำงานแบบ piezoelectric piezoelectric และ capacitive การเร่งความเร็วที่เกิดขึ้นเป็นสัดส่วนโดยตรงกับการเปลี่ยนแปลงความต้านทานแรงดันไฟฟ้าและความจุซึ่งจะถูกรวบรวมโดยวงจรการขยายและการกรองที่สอดคล้องกัน เซ็นเซอร์เร่งความเร็วนี้และทั่วไปมีพื้นฐานมาจากหลักการเดียวกัน ดังนั้นในทางเทคนิคบางอย่างแกนเดียวสามแกนสามารถกลายเป็นสามแกนได้ สําหรับการใช้งานเซ็นเซอร์ส่วนใหญ่ เซ็นเซอร์เร่งความเร็วของสองแกนสามารถตอบสนองการใช้งานส่วนใหญ่ได้แล้ว แต่การประยุกต์ใช้ในบางแง่มุมยังคงมุ่งเน้นไปที่เซ็นเซอร์เร่งความเร็วสามแกนเช่นในอุปกรณ์ขุดดิจิทัลการตรวจสอบทรัพย์สินที่มีค่าการตรวจสอบการชนการวัดการสั่นสะเทือนของอาคารพัดลมกังหันลมและการสั่นสะเทือนของโครงสร้างขนาดใหญ่ที่ละเอียดอ่อนอื่น ๆ

สามแกนความไวสูงประโยชน์ของเซ็นเซอร์เร่งคือการใช้เซ็นเซอร์เร่งสามมิติเพื่อตรวจจับสัญญาณเร่งโดยไม่รู้ทิศทางการเคลื่อนที่ของวัตถุล่วงหน้า เซ็นเซอร์เร่งสามมิติมีขนาดเล็กและน้ำหนักเบาสามารถวัดความเร่งเชิงพื้นที่และสามารถสะท้อนลักษณะการเคลื่อนที่ของวัตถุได้อย่างครบถ้วนและแม่นยำ

เซ็นเซอร์เร่งความไวสูงมีเสถียรภาพที่ดีเยี่ยมความน่าเชื่อถือและความต้านทานต่อการอบแห้ง เซ็นเซอร์เร่งความเร็วปกติมักจะต้องมีการปรับระดับบนโต๊ะสั่นสะเทือนมาตรฐานทำให้เกิดความไม่สะดวกในการใช้งานเซ็นเซอร์เร่งความไวสูงด้วยเทคโนโลยีการประมวลผลขั้นสูงของไมโครอิเล็กทรอนิกส์และหลักการวัดแบบ capacitive การตอบสนองความถี่ต่ำที่ยอดเยี่ยมสามารถรับได้โดยการเร่งความเร็วของแรงโน้มถ่วงกรัมเซ็นเซอร์สามารถเป็นมาตรฐานและมีระบบตรวจสอบตัวเองในตัว