• ความแม่นยำสูง± 1.0% การตั้งค่าจุด
  เส้นตรงของตัวควบคุมการไหลของมวลนี้ได้รับการชดเชยด้วยเส้นโค้งโดยประมาณของพหุนามและมีความแม่นยำสูงในช่วงการควบคุมการไหลในปัจจุบัน เพื่อปรับปรุงความแม่นยำของก๊าซที่เกิดขึ้นจริงข้อมูลการสอบเทียบของก๊าซในกระบวนการที่แตกต่างกันจะถูกวัดโดยระบบการวัดก๊าซมาตรฐานของ HORIBA STEC
• การตอบสนองความเร็วสูง
  ประกอบ "ระบบ PID ตัวแปร" สามารถรับรู้การตอบสนอง 1 วินาทีระหว่างสองจุดตั้งค่าใด ๆ การตั้งค่า PID ตัวแปรมีการเปลี่ยนแปลงอยู่ตลอดเวลาตามจุดไหล เพิ่มประสิทธิภาพค่าสัมประสิทธิ์ PID เมื่อมีการเปลี่ยนแปลงการไหลของก๊าซเต็มรูปแบบ
• โซลูชั่นมัลติแก๊ส / หลายช่วง
  ซอฟต์แวร์กำหนดค่าสามารถเปลี่ยนข้อกำหนดได้อย่างรวดเร็วและง่ายดาย คุณลักษณะที่สำคัญคือการเปลี่ยนแปลงสามารถทำได้โดยไม่ต้องถอดตัวควบคุมการไหลของมวลออกจากแผงควบคุมก๊าซหรือท่อ ลดปริมาณของตัวควบคุมการไหลของมวลสำรองที่จำเป็นประหยัดเวลาและค่าใช้จ่าย

ตัวควบคุมการไหลของมวล SEC-Z500X เหมาะสำหรับการใช้งานที่หลากหลายรวมถึงการผลิตเซมิคอนดักเตอร์