Shanghai Heshow ตราสารการผลิต จำกัด
บ้าน>ผลิตภัณฑ์>เตาอบปราศจากออกซิเจน Photolithography เวเฟอร์เตาอบ
กลุ่มผลิตภัณฑ์
ข้อมูล บริษัท
  • ระดับการซื้อขาย
    สมาชิกวีไอพี
  • ติดต่อ
  • โทรศัพท์
  • ที่อยู่
    No.3215 Huhang Highway, Fengxian District, ?????????
ติดต่อเรา
เตาอบปราศจากออกซิเจน Photolithography เวเฟอร์เตาอบ
I. ภาพรวม: เวเฟอร์เตาอบแบบไม่ใช้ออกซิเจนห่อหุ้มเตาอบแบบไม่ใช้ออกซิเจน เมื่อทำงานสตูดิโอจะเต็มไปด้วยก๊าซเฉื่อย CO2, N2 เพื่อป้องกันไม่ให้วัสดุถูกออกซิไ
รายละเอียดสินค้า

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

I. ภาพรวม:
เตาอบแบบไม่ใช้ออกซิเจน เวเฟอร์ Encapsulated เตาอบแบบไม่ใช้ออกซิเจน เมื่อทำงานสตูดิโอจะเต็มไปด้วยก๊าซเฉื่อย CO2, N2 เพื่อป้องกันไม่ให้วัสดุถูกออกซิไดซ์เมื่ออบ ไม่มีการใช้เตาอบออกซิเดชันในอุตสาหกรรม: บรรจุภัณฑ์ IC, LCD, ทรานซิสเตอร์, เซนเซอร์, ไดโอด, ออสซิลเลเตอร์คริสตัลควอตซ์, แผงวงจรรวมไฮบริด ...


ครั้งที่สอง พารามิเตอร์ทางเทคนิคของผลิตภัณฑ์
1. ชื่อและรุ่น: เตาอบแบบไม่ใช้ออกซิเจนแบบสองช่องทำงาน AO-2DSL FCNET (รองรับฟังก์ชั่นออนไลน์ ONET-240)
2. ดัชนีทางเทคนิคหลัก:
2.1 ขนาดการทำงาน: W1000 * D500 * H610 * 2 มม
2.2 แหล่งจ่ายไฟ: 380V 3φ50HZ 18KVA
2.3 การควบคุมปริมาณออกซิเจนเพื่อ <= 100PPM
2.4 ช่วงอุณหภูมิ: RT (อุณหภูมิห้อง) + 60 ~ + 300 ℃;
2.5 ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ: ± 1.5%;
2.6 อัตราการเพิ่มอุณหภูมิ: อุณหภูมิห้อง ~ 250 ℃, 45 นาที (การทดสอบกล่องเปล่า) (อุณหภูมิสูงของกระบวนการลูกค้า 300 ℃)
2.7 ระบายความร้อนด้วยอากาศ: สามารถลดอุณหภูมิจาก 250 ℃ถึง 70 ℃ภายใน 100 นาที


3 โครงสร้างกล่อง:
3.1 เตาอบประกอบด้วยชิ้นส่วนกล่องส่วนตู้ควบคุมเครื่องใช้ไฟฟ้าระบบทำความร้อนไฟฟ้าและระบบท่ออากาศบางส่วน โครงสร้างที่เหมาะสมลักษณะสวยงามและใจกว้าง
3.2 การเชื่อมอาร์กอนทุกสัปดาห์ทนต่ออุณหภูมิสูงซิลิกาเจล, SUS304 \# เครื่องผลิตความร้อนไฟฟ้าสแตนเลส, โต๊ะป้องกันตัวเองสร้างฝุ่นขนาดเล็ก
3.3 วัสดุของกล่อง: กล่องด้านนอกใช้แผ่นเหล็กคาร์บอนขนาดกลาง SS41 \# หลังจากการบำบัดด้วยเกลือฟิล์มฟอสเฟตเคลือบเงาสองชั้นเคลือบเงาซึ่งสามารถป้องกันฝุ่นขนาดเล็ก
3.4 วัสดุน้ำดีภายใน: ใช้แผ่นเหล็กสแตนเลสกระจกหนา 800 ครั้ง 2 มม. ที่นำเข้า SUS304 \# รายวันและทำความสะอาดด้วยโซดาอัลคาไลน์ขจัดคราบน้ำมันเพื่อหลีกเลี่ยงการสร้าง PARTICLE เมื่ออบ
3.5 วัสดุของกลองกลาง: ใช้แผ่นเหล็กสแตนเลสกระจกที่นำเข้า SUS304 \# วัน 800 ครั้ง 2 มม. และทำความสะอาดด้วยโซดาอัลคาไลน์ขจัดคราบน้ำมันและการเชื่อมอาร์กอนปิดผนึกการประมวลผล (ป้องกันมลพิษ)
3.6 วัสดุฉนวนกันความร้อน: ขนอลูมิเนียมซิลิเกต;
3.7 แซนวิชระบายความร้อน: แซนวิชระบายความร้อนด้วยอากาศเย็น


4, ระบบควบคุมอุณหภูมิ
4.1 คอนโทรลเลอร์ใช้หน้าจอสัมผัส PLC แบบ 2-in-1 เพื่อควบคุมช่องสองช่องให้ทำงานอย่างอิสระสลับได้ตลอดเวลา
4.2 การวัดอุณหภูมิ: ใช้ความต้านทานทองคำขาวแบบพิเศษ
4.3 ระบบควบคุมไนโตรเจน: ระบบไนโตรเจนควบคุมอัจฉริยะพร้อมเครื่องวัดการไหลคู่
5, มาตรการป้องกันความปลอดภัยที่สมบูรณ์แบบ: เบรกเกอร์รั่ว // การป้องกันอุณหภูมิเกิน // การป้องกันเฟสต่ำ // การป้องกันกระแสเกินพิกัดของมอเตอร์ // คำเตือนเสียงเตือนที่ผิดปกติของโต๊ะ

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱



无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

สอบถามออนไลน์
  • ติดต่อ
  • บริษัท
  • โทรศัพท์
  • อีเมล์
  • วีแชท
  • รหัสยืนยัน
  • เนื้อหาข้อความ

การดำเนินการประสบความสำเร็จ!

การดำเนินการประสบความสำเร็จ!

การดำเนินการประสบความสำเร็จ!