[ไม่จำเป็นต้องใช้วาล์วทำลายสูญญากาศ]
ด้วยการปลดสูญญากาศโดยไม่มีแรงดันบวกไม่จำเป็นต้องใช้มาตรการเพื่อป้องกันไม่ให้ชิปขนาดเล็กมากถูกเป่าออกไป
ไม่จำเป็นต้องยุ่งยากในการปรับความดันการทำลายล้างการไหลและเวลา
ไม่มีการใช้วาล์วทำลายสูญญากาศเพื่อให้เกิดความเรียบง่าย
[ลดพื้นที่ใช้สอย]
พื้นที่ติดตั้งลดลง 44% และน้ำหนักลดลง 53% เมื่อเทียบกับหน่วยก่อวินาศกรรมก่อนหน้านี้และเหมาะสำหรับการย่อส่วนของหน่วยการผลิต
สามารถติดตั้งได้แม้ในพื้นที่ขนาดเล็กมากและการออกแบบหน่วยมีอิสระมากขึ้น
ติดตั้งได้ง่ายในส่วนที่เคลื่อนย้ายได้ของอุปกรณ์โดยน้ำหนักเบา
[สามารถติดตั้งเซ็นเซอร์ความดัน]
มีการติดตั้งเซ็นเซอร์ความดันสำหรับเครื่องดูดฝุ่นในหน่วยมีรูปร่างที่เล็กลง
การตรวจจับแรงดันลบยังช่วยประหยัดพื้นที่
ใช้เซ็นเซอร์ความดันคงที่ U snap pin เพื่อปรับปรุงความสามารถในการบำรุงรักษา
[สามารถติดตั้งตัวกรองสำหรับเครื่องดูดฝุ่น]
ไม่จำเป็นต้องติดตั้งตัวกรองในระหว่างการจ่ายท่อ
ตัวกรองที่ใช้สูญญากาศมีการเปลี่ยนปลั๊กอย่างรวดเร็ว
| แบบ | ชื่อ | เส้นผ่าศูนย์กลางท่อจ่าย | หมายเหตุ |
|---|---|---|---|
| MV3QRA | ท่อจ่ายตรง | M5, ปลั๊กด่วน Φ4, Φ6 | |
| MV3QRB | ท่อจ่ายสำหรับแผ่นฐาน | M5, ปลั๊กด่วน Φ4, Φ6 |
