I. วัตถุประสงค์ของการบำรุงรักษาเครื่องมือ ICP:
1) พบความผิดปกติของเครื่องมือในเวลา
2) การตรวจสอบอันตรายที่ซ่อนอยู่ของเครื่องมือค้นหาทันเวลาเสนอมาตรการป้องกัน
3) ผ่านการดูแลเครื่องมือปรับปรุงความไวของเครื่องมือและยืดอายุการใช้งานของเครื่องมือ
4) เพิ่มเสถียรภาพของเครื่องมือและรับประกันความถูกต้องของข้อมูลการทดสอบ
ครั้งที่สอง เนื้อหาของการบำรุงรักษาและบำรุงรักษาเครื่องมือ ICP:
1) ทำความสะอาดแผงวงจรพัดลมและพื้นผิวของเครื่องมือทั้งหมด
2) ทำความสะอาดเครื่องฉีดน้ำ, ห้องพ่นหมอก, กรวยกลางวันพร้อมหลอดไฟฉาย
3) เปลี่ยนน้ำหมุนเวียนและทำความสะอาดท่อ
4) ข้อต่อท่อสูญญากาศ, การตรวจสอบการปิดผนึกสวิทช์โซลินอยด์วาล์วปรับตำแหน่งลำแสง
5) การตรวจสอบประสิทธิภาพของปั๊มสูญญากาศ, เปลี่ยนน้ำมันปั๊ม, แหวนปิดผนึก, ตะแกรงโมเลกุล
6) ตรวจสอบไม่มีการรั่วไหลของอากาศระหว่างถังก๊าซกับ ICP ตรวจสอบคุณสมบัติของวงจร
7) เครื่องมือตรวจสอบก๊าซ, เซ็นเซอร์ช่วยแก๊ส, ทำความสะอาด
8) เครื่องกำเนิดความถี่สูง RF เครื่องกำจัดฝุ่นการบำรุงรักษาห้องสุญญากาศ
9) ตอบคำถามเกี่ยวกับการทำงานของผู้ใช้