ในการใช้งานก๊าซบริสุทธิ์พิเศษจํานวนมาก เช่น ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ความชื้นที่เหลืออยู่ในก๊าซมีความสําคัญต่อการดําเนินงานตามปกติของกระบวนการ ตลอดเวลาที่ผ่านมา การติดตามการวัดความชื้นอย่างต่อเนื่องเป็นจุดที่ยาก ต้องใช้เครื่องวิเคราะห์ความชื้นที่ซับซ้อนหรือเทคโนโลยีการวิเคราะห์ที่มีราคาแพง อย่างไรก็ตาม Mitanalytics Meter ได้เปิดตัวโปรแกรมที่ง่าย ประหยัด และมีประสิทธิภาพออกสู่ตลาดในการวัดค่าน้ําค้างออนไลน์ด้วยขีดจํากัดล่างที่ต่ําถึง -120 ° C (เทียบเท่ากับน้อยกว่า 1 ppbวี)。 เครื่องส่งสัญญาณ Pura เป็นเครื่องส่งสัญญาณราคาต่ำตัวแรกที่เหมาะสำหรับอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการประยุกต์ใช้ก๊าซบริสุทธิ์พิเศษโดยอาศัยประสบการณ์ระดับมืออาชีพหลายปีของเครื่องมือวิเคราะห์ความหนาแน่นในการผลิตและตรวจสอบเซ็นเซอร์จุดน้ำค้างอิมพีแดนซ์รวมกับวัสดุอุตสาหกรรมมาตรฐานและกระบวนการผลิต ไฮไลท์ ขีด จำกัด ล่าง - 120 ° C จุดน้ำค้าง (1 ppbวี) การวัดที่มีเสถียรภาพและการทำซ้ำที่ดี อุปกรณ์เก็บตัวอย่างแบบบูรณาการสูง เอาต์พุตแบบอะนาล็อกและดิจิตอล ติดตั้งง่ายและง่าย อินเตอร์เฟซกระบวนการ VCR การออกแบบที่กะทัดรัดและกะทัดรัด หน่วยแสดงผล / สัญญาณเตือนภัย ไม่จำเป็น
ดัชนีทางเทคนิค
เซนเซอร์ ประเภทเซนเซอร์ เซ็นเซอร์ความชื้นเซรามิก Analyzer ช่วง -120 ~ -40 ° C จุดน้ำค้าง (ตรวจสอบถึง -100 ~ -40 ° C) ความแม่นยำ ± 1 ° C -40 ~ -60 ° C; ± 2 ° C -61 ~ -100 ° C; ± 4 ° C -101 ~ -120 ° C (โดยประมาณ) ความละเอียด 0.1 ° C -40 ~ -79.9 ° C; 1 ° C -80 ~ -100 ° C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C ความดัน ต่ำสุด 10-9 torr; สูงสุด 24 MPa การไหลของก๊าซ 1 ~ 5 นิลิตร / นาที ไฟฟ้า พาวเวอร์ซัพพลาย ปกติ 24 V DC, ต่ำสุด 10 V ~ สูงสุด 28 V, กระแสสูงสุด 25 mA ผลลัพธ์ เอาต์พุต 4-20 mA ช่วงที่สอดคล้องกันสามารถปรับได้โดยซอฟต์แวร์พิเศษช่วงการปรับตั้งแต่ 1 ~ 80 ° C (มาพร้อมกับมาตรฐาน) โหลดสูงสุด = 100Ω + 50Ω x (V Power - 8) สถานะข้อผิดพลาดในการส่งออก ข้อมูลความผิดพลาดของเอาต์พุตมาตรฐานมีดังนี้: 23 mA = ความล้มเหลวของเซ็นเซอร์ 20 mA = เกินขีด จำกัด; 4 mA = เกินขีด จำกัด ล่าง สมบัติเชิงกล แขนเซ็นเซอร์ สแตนเลส, 0.1-0.2 Raµm ชุบภายในขัด พอร์ตเชื่อมต่อเส้นทางอากาศ ประเภทพรีเมี่ยมหรือ OEM: ¼'m VCR อินเตอร์เฟซ Pura Sensor Type: อินเตอร์เฟซ VCR ½'m การกำหนดค่าการติดตั้ง ประเภทพรีเมี่ยมหรือ OEM: ความยาว 120.00 มม. การปิดผนึกใบหน้าของพอร์ตเส้นทางอากาศ ไม่จำเป็นต้องสำรองช่องว่างของสาย 2 M4 x 0.7 ที่ฐานมีรูยึดลึก 7 มม. ระยะห่างในแนวตั้ง 20 x 20 มม. Pura Sensor Type: เหมาะสำหรับใช้ในพอร์ต VCR ½'ที่จัดทำโดยผู้ใช้ ขนาด ประเภทพรีเมี่ยมหรือ OEM: 120 x 35 x 150 มม เซนเซอร์ Pura 型: 132 x 35 มม น้ำหนัก ประเภทพรีเมี่ยมหรือ OEM: 450 กรัม เซนเซอร์ Pura 型: 180 กรัม บรรจุภัณฑ์ Pura: บรรจุภัณฑ์สองชั้น, ซีลเติมก๊าซเฉื่อย Pura OEM หรือ Pura Sensor Type: บรรจุภัณฑ์ชั้นเดียว อุปกรณ์เสริมทั้งหมดที่เลือก: จัดส่งบรรจุภัณฑ์อิสระ ประเภทเซนเซอร์มาพร้อมกับปลอกป้องกันที่ปลายชิปตรวจจับเพื่อการขนส่งและการใช้งาน