อัลกอริทึมการควบคุมช่วยให้สามารถควบคุมการไหลเวียนได้อย่างมั่นคงโดยการควบคุมอัตราส่วนการไหลในขณะที่ใช้เทคโนโลยีการเพิ่มประสิทธิภาพการควบคุม HORIBA STEC เพื่อควบคุมแรงดันไหลบน FS-3000 นอกจากนี้อัลกอริทึมการควบคุมยังสามารถตอบสนองต่อการแยกด้วยความเร็วสูงแม้ว่าอัตราส่วนการเปลี่ยน

• ปรับปรุงความสามารถในการขยายประสิทธิภาพการบำรุงรักษา FS-3000 สามารถแยกได้ถึง 15 ช่องสัญญาณโดยการประมวลผลสัญญาณความเร็วสูง หาก MFC ล้มเหลวเพียงแค่เปลี่ยนความผิดพลาดจากเครื่อง

• มีความยืดหยุ่นในการตอบสนองต่อข้อกำหนดที่จำเป็น FS-3000 รองรับก๊าซหลายชนิดรวมถึงก๊าซผสม นอกจากนี้ FS-3000 ยังรองรับอินเทอร์เฟซผู้ใช้เช่น RS-485, DeviceNet เป็นต้น