FD-9104PA ซิลิคอนเวเฟอร์ขัดเครื่อง
การใช้งานหลัก:
ใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านเดียวของแผ่นซิลิคอนเวเฟอร์หลายขนาดขัดและกระจกขัด
พารามิเตอร์อุปกรณ์:
|
ขนาดแผ่นขัด |
Φ910mm |
|
สถานีทำงาน |
4 กลุ่ม |
|
เส้นผ่าศูนย์กลางถ้วยดูดเซรามิค |
Φ400mm |
|
โหมดแรงดัน |
ความดันกระบอกสูบ |
|
กำลังมอเตอร์หลัก |
7.5KW/380V |
|
กำลังขับเคลื่อนของดิสก์ชิ้นงาน |
0.4KW/380V |
|
ความดันอากาศทำงาน |
0.4-0.6MPa |
|
ความเร็วในการหมุนของแผ่นชิ้นงาน |
5-40RPM |
|
ความเร็วในการขัดแผ่น |
10-80RPM |
|
ความหยาบของการประมวลผล |
Ra:0.0002 |
|
น้ำหนักรวมของอุปกรณ์ |
2300kg |
|
ขนาดรูปร่างภายนอก (L*W*H) |
1650*1200*2300mm |
ผลของเครื่องขัดเซรามิกนี้หลังจากขัด:

