เซ็นเซอร์ความดันขนาดเล็กพิเศษ CYG502 ที่มีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 2 มม. ได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับการใช้งานที่ต้องการขนาดการติดตั้งที่เล็กกว่าในการทดลองกลศาสตร์ของไหล เป็น บริษัท ของเราในปัจจุบันเปิดตัวเซ็นเซอร์ความดันที่มีขนาดเล็กที่สุดในผลิตภัณฑ์ของเรา

ส่วนประกอบที่ไวต่อแรงกดของ CYG502 ได้รับการออกแบบและผลิตโดยใช้เทคโนโลยี MEMS (Miro Electronic Machinical Systems) ขั้นสูง องค์ประกอบความดัน piezo-resistance ซิลิกอนแบบบูรณาการสามมิติการประมวลผลสองด้านมีความแม่นยำเชิงเส้นที่ยอดเยี่ยม ความสม่ำเสมอสูงของสะพานความเครียด Whiston ที่สร้างขึ้นโดยการฉีดไอออนเทคโนโลยีการพิมพ์หินที่ละเอียดอ่อนทำให้มีการลอยตัวของอุณหภูมิเพียงเล็กน้อย การใช้เทคโนโลยีพันธะโดยตรงของซิลิคอนซิลิคอนการออกแบบร่อง V คว่ำจึงตระหนักถึงการเพิ่มประสิทธิภาพของขนาดฟิล์มชิปที่สามารถใช้ประโยชน์ได้ลดขนาดชิปทั้งหมดเป็นขนาด 1 × 1 มม. และความไวเอาต์พุตยังสามารถเข้าถึงช่วง 100kpa เพื่อให้เกิดความก้าวหน้าที่สำคัญในการตระหนักถึงเซ็นเซอร์ขนาดเล็กพิเศษ

เปลี่ยนพันธะซิลิคอน - แก้วในการออกแบบแบบดั้งเดิมเป็นพันธะซิลิคอน - ซิลิโคนปรับปรุงผลการจับคู่ความร้อนและลดความไม่มั่นคงเป็นศูนย์ที่เกิดจากความเครียด

ปัจจุบันสายพันธุ์ที่ออกสู่ตลาดมีผลิตภัณฑ์โหมดการวัดแรงดันเกินและประเภทความดันเมตรอยู่ระหว่างการพัฒนา

CYG502A เครื่องวัดความดันแบบ Ultra Miniature Pressure Sensor เป็นรูปโพรบ เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอกมาตรฐานคือ Ф2.15 มม. และความยาว 18 มม. ช่วงตัวเลือกของเซ็นเซอร์คือ 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000kpa ความดันสัมบูรณ์

CYG502A ส่วนประกอบที่ละเอียดอ่อนใช้แรงดันด้านหน้าสำหรับเซ็นเซอร์ความดัน ดังนั้นจึงเหมาะสำหรับก๊าซแห้งที่มีสื่อไม่กัดกร่อนและไม่นำไฟฟ้าเท่านั้น มีโซนอุณหภูมิการทำงานที่กว้างพอสมควรถึง -55 ℃ ~ + 120 ℃ นอกจากนี้ยังมีลักษณะแบบไดนามิกความถี่สูงที่ยอดเยี่ยมความถี่โดยธรรมชาติของส่วนประกอบที่ละเอียดอ่อนของช่วงต่ำสุด> 200kHz และเวลาที่เพิ่มขึ้นคือ submicroseconds

1, พารามิเตอร์ของตัวบ่งชี้ประสิทธิภาพ

2 เอาท์พุทเต็มช่วง: นาที 30mv ทั่วไป 80mv สูงสุด 130mv

3, ความต้านทานอินพุตและเอาต์พุต: ต่ำสุด 3 kΩ Typ 5 kΩสูงสุด 7 kΩ

4, ป้อนข้อมูลการทำงานปัจจุบัน: 1.5mA (ชนิดแรงดันเกจ) 1mA (ชนิดแรงดันแยก) (แหล่งกระแสคงที่)

5, ช่วงอุณหภูมิในการทำงาน: -55 ℃ ~ + 120 ℃

6, ช่วงอุณหภูมิชดเชย: -10 ℃ ~ + 80 ℃

7, ความจุเกินพิกัด: 200% ของช่วงที่กำหนด

8, ความไวต่อการเร่งความเร็ว: <0.001% FS / g

9, การวาดภาพขนาดโดยรวม: CYG502A