Atonarp การควบคุมกระบวนการ Mass Spectrometer Aston ™- ผู้จัดจำหน่ายทั่วโลก

กลุ่มผลิตภัณฑ์

ข้อมูล บริษัท

ระดับการซื้อขาย

สมาชิกวีไอพี
ติดต่อ
โทรศัพท์

+86-1381-880-1372
ที่อยู่

???? 702 ???? 7 ????? 36 ?????? 1888 ??? Xinjinqiao ????????????????????? 201206

Atonarp การควบคุมกระบวนการ Mass Spectrometer Aston ™

Shanghai Berdong Agent Japan Atonarp Process Control Mass Spectrometer Aston โดยใช้เทคโนโลยีการตรวจจับโมเลกุลเพื่อให้ ALD, CVD, การแกะสลัก, ALE และห้อ

ติดต่อผู้จัดจำหน่าย

ผลิตภัณฑ์อื่น ๆ

รายละเอียดสินค้า

Atonarp การควบคุมกระบวนการ Mass Spectrometer Aston ™ ข้อกำหนดทางเทคนิค:

เครื่องมืออเนกประสงค์สำหรับการควบคุมกระบวนการแบบเรียลไทม์, ก๊าซทนต่อการกัดกร่อน, ป้องกันการควบแน่น
แพลตฟอร์มการวิเคราะห์ระดับโมเลกุลสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ให้ข้อมูลที่ใช้งานได้แบบเรียลไทม์
ใช้แหล่งกำเนิดไอออนพลาสม่าไม่มีเส้นใยทนทานมากขึ้น
สามารถใช้งานร่วมกับเครื่องมือการผลิตที่มีปริมาณมาก
Aston ™ เครื่องวิเคราะห์สเปกตรัมมวลกระบวนการเป็นแพลตฟอร์มที่ทรงพลังสามารถแทนที่เครื่องมือแบบดั้งเดิมที่หลากหลายและให้ระดับการควบคุมที่ไม่เคยมีมาก่อนรวมถึงการพิมพ์ด้วยแสงอิเล็กทริกและการแกะสลักและการฝากเป็นสื่อกระแสไฟฟ้าการทำความสะอาดห้องการจับคู่และการสลายตัวของห้อง

Aston ™ เครื่องวิเคราะห์สเปกตรัมมวลกระบวนการพารามิเตอร์ทางเทคนิค

ประเภท	Impact-300	Impact-300DP	Plasma-200	Plasma-200DP	Plasma-300	Plasma-300DP
แบบ	AST3007	AST3006	AST3005	AST3004	AST3003	AST3002
การแยกคุณภาพ	เสาสี่ขั้นตอน
ระบบสูญญากาศ	ปั๊มโมเลกุล	ปั๊มโมเลกุล ปั๊มไดอะแฟรม	ปั๊มโมเลกุล	ปั๊มโมเลกุล ปั๊มไดอะแฟรม	ปั๊มโมเลกุล	ปั๊มโมเลกุล ปั๊มไดอะแฟรม
เครื่องตรวจจับ	FC /SEM
ช่วงคุณภาพ	2-285		2-220		2-285
ความละเอียด	0.8±0.2
ขีด จำกัด การตรวจจับ	0.1 PPM
อุณหภูมิในการทำงาน	15-35“℃
อำนาจ	350 W
น้ำหนัก	15 kg
ขนาด	299 x 218 x 331 LxWxH(mm)		400 x 240 x 325 LxWxH(mm)

Atonarp Aston™ การประยุกต์ใช้: การพัฒนาที่สำคัญในการควบคุมและเพิ่มประสิทธิภาพของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ปรับปรุงการผลิตกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ปริมาณงานและประสิทธิภาพ
Aston ™ เป็นสเปกโตรมิเตอร์มวลแบบอินไลน์ขนาดกะทัดรัดที่ออกแบบใหม่และทนทานสำหรับการตรวจสอบและควบคุมก๊าซในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการใช้งานการควบคุมกระบวนการทางอุตสาหกรรมความแม่นยำในการวัดปริมาณสูงและความเรียลไทม์รวมกับความมั่นคงและความน่าเชื่อถือในการผลิตเช่นการวิเคราะห์การตรวจจับก๊าซไอเสียแบบแห้งของเซมิคอนดักเตอร์เพื่อการตรวจสอบออนไลน์การวินิจฉัย
CVD / ALD: การเปลี่ยนออกไซด์ไนไตรด์และการวิเคราะห์องค์ประกอบ
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: ระบุโมเลกุลการติดตาม
Aston™ 半导体在线质谱仪应用

หากต้องการทราบข้อมูลเพิ่มเติมAtonarp Aston ™ สเปกโตรมิเตอร์มวลออนไลน์รายละเอียดหรือการอภิปรายโปรดดูรายละเอียดการติดต่อต่อไปนี้:
เบอร์ตง เซี่ยงไฮ้ Miss Ye เบอร์ตงไต้หวัน Miss Wang
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 (หมายเลขเดียวกันของ WeChat) M: +86 1391-883-7267

ตอนนี้บางส่วนของแบรนด์จริงใจรับสมัครตัวแทนความร่วมมือผู้ที่สนใจยินดีที่จะติดต่อ Miss Shanghai Botongye 1391-883-7267
สงวนลิขสิทธิ์ Shanghai Burdong พลิก!

สอบถามออนไลน์

ติดต่อ
บริษัท
โทรศัพท์
อีเมล์
วีแชท
รหัสยืนยัน
เนื้อหาข้อความ