คุณสมบัติของระบบตรวจสอบเวเฟอร์ Olympus ขนาด 8 นิ้ว

●การปรับตัวที่หลากหลายและการจับคู่ที่ยืดหยุ่นระบบตรวจสอบเวเฟอร์ Olympus ขนาด 8 นิ้วใช้งานได้จริงและความน่าเชื่อถือสูง

●ระบบตรวจสอบเวเฟอร์ Olympus ขนาด 8 นิ้วส่งซิลิคอนเวเฟอร์ขนาดต่างๆ

ขึ้นอยู่กับขนาดของเวเฟอร์ซิลิคอนระบบตรวจสอบเวเฟอร์ AL120 ซีรี่ส์มี 3 รุ่นพื้นฐานคือ 200 มม. เดี่ยว (AL120-L8) 150 มม. และ 200 มม. เข้ากันได้ (AL120-L86) 150 มม. หรือต่ำกว่า (AL120-L6) แต่ละรุ่นถูกออกแบบมาเพื่อส่งผ่านซิลิคอนเวเฟอร์ที่ผ่านการตรวจสอบด้วยกล้องจุลทรรศน์แล้ว การตรวจสอบแมโครด้านหน้าและด้านหลังสามารถใช้ได้กับเวเฟอร์ซิลิคอนขนาดต่างๆ

●ระบบตรวจสอบเวเฟอร์ Olympus ขนาด 8 นิ้วสามารถส่งเวเฟอร์ซิลิกอนบางเฉียบ ได้แก่ บางถึง 90um

เพื่อรับมือกับเวเฟอร์ซิลิกอนบางเฉียบที่มีความท้าทายมากขึ้น ระบบตรวจสอบเวเฟอร์ของ Olympus ได้ออกแบบแขนส่งสัญญาณเป็นพิเศษ ซึ่งสามารถรับมือกับแผ่นเวเฟอร์ขนาด 200 มม. จำนวน 25 แผ่น และแผ่นเวเฟอร์ซิลิกอนบางถึง 90um รวมถึงการส่งผ่านความปลอดภัยและการตรวจสอบด้วยกล้องจุลทรรศน์ สามารถตั้งค่าข้อมูลเวเฟอร์ซิลิคอนที่มีความหนาแตกต่างกันได้ถึง 10 ชนิดผ่านแผง

●ความสามารถที่แม่นยำเพิ่มฟังก์ชั่นการตรวจสอบมหภาค

โต๊ะเครื่องแบบใหม่ที่มีฟังก์ชั่นการตรวจสอบระดับมหภาค (ชนิด LMB) มีการหมุนอัตโนมัติ 360 องศาเพื่อเสร็จสิ้นการตรวจสอบระดับมหภาคแต่ละด้านของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน การออกแบบนี้สามารถค้นหาข้อบกพร่องและอนุภาคในด้านบวกและด้านหลังของเวเฟอร์ซิลิคอนได้อย่างสะดวก นอกจากนี้การตรวจสอบระดับมหภาคสามารถทำได้โดยการเอียงเวเฟอร์ซิลิคอน 30 องศาโดยใช้แท่งโยก

●จอแสดงผล LCD ให้ความแม่นยำและความสะดวกในการใช้งาน

จอแสดงผล LCD ช่วยให้ผู้ปฏิบัติงานสามารถมองเห็นภาพได้ง่ายขึ้น ทำให้ระบบตรวจสอบเวเฟอร์ของ Olympus สามารถตรวจสอบรายการและลำดับได้อย่างชัดเจน รวมถึงพารามิเตอร์ที่จำเป็นต้องตั้งค่าสำหรับการติดตั้งและการว่าจ้าง ผลการตรวจสอบเครื่องหมายข้อบกพร่องของมาโครและจุลภาครวมถึงการป้อนข้อมูลของผู้ประกอบการสามารถแสดงบนหน้าจอ LCD เพื่ออำนวยความสะดวกในการตรวจสอบของผู้ประกอบการ

●ความน่าเชื่อถือที่แม่นยำ

เพื่อความปลอดภัยของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนระบบตรวจสอบเวเฟอร์ AL120 ซีรี่ส์ใช้วิธีการตรวจจับซิลิคอนเวเฟอร์แบบใหม่สองแบบคือความหนาของแผ่นเวเฟอร์และตำแหน่งในกล่องชิป สแกนตำแหน่งของเวเฟอร์ซิลิคอนในกล่องชิปก่อนส่ง ฟังก์ชั่นการล็อคอัตโนมัติของโต๊ะผู้ให้บริการที่เลือกซื้อช่วยเพิ่มความปลอดภัยของเวเฟอร์ซิลิคอนที่ส่งไปยังโต๊ะผู้ให้บริการสูญญากาศ

●กล้องจุลทรรศน์ที่มีประสิทธิภาพและเชื่อถือได้

กล้องจุลทรรศน์ Olympus Semiconductor Inspection Microscope MX61 สามารถแสดงภาพความละเอียดสูงและการวิเคราะห์ได้สูงด้วยวิธีการสังเกตที่แตกต่างกัน ได้แก่ สนามสว่าง สนามมืด การแทรกแซงดิฟเฟอเรนเชียล อินฟราเรด และรังสีอัลตราไวโอเลตลึก พร้อมกับแผ่นเสียงวัตถุประสงค์ไฟฟ้ามีฟังก์ชั่นการเชื่อมโยงกับเปลวไฟรูรับแสงของโฮสต์กล้องจุลทรรศน์ การเปลี่ยนเลนส์วัตถุประสงค์แต่ละครั้งแสงรูรับแสงจะเปลี่ยนโดยอัตโนมัติ

●เป็นไปตามมาตรฐาน SEMI S2 / S8 และ RoHS

การออกแบบระบบตรวจสอบเวเฟอร์ AL120 ซีรี่ส์ไม่เพียง แต่ให้ความสำคัญกับความปลอดภัยของแผ่นซิลิกอนในการส่งเท่านั้น แต่ยังรับประกันความปลอดภัยของผู้ปฏิบัติงานด้วยซึ่งสอดคล้องกับมาตรฐาน S2 และ S8 ของ SEMI อย่างสมบูรณ์

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิคของระบบตรวจสอบเวเฟอร์ Olympus ขนาด 8 นิ้ว